Atomic scale characterization of SiO 2/4H-SiC interfaces in MOSFETs devices
Type de publication
Journal Article
Auteurs
;
;
;
;
;
;
METSA, une infrastructure de recherche distribuĂ©e de 9 plateformes qui met Ă la disposition de la communautĂ© scientifique des instruments et une expertise uniques en France dans le domaine de la Microscopie Ălectronique en Transmission et de la Sonde Atomique.