Publications
2018
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2017
Mangelinck, D., Wasisto, H. S., Sudkamp, T., Caccamo, L., Bracht, H., Descoins, M., Bertke, M., Peiner, E., Hamdana, G., « Towards fabrication of 3D isotopically modulated vertical silicon nanowires in selective areas by nanosphere lithography », Microelectronic Engineering, vol. 179 , p. 74â82, 2017.DOI, Google Scholar, BibTex
METSA, une infrastructure de recherche distribuĂ©e de 9 plateformes qui met Ă la disposition de la communautĂ© scientifique des instruments et une expertise uniques en France dans le domaine de la Microscopie Ălectronique en Transmission et de la Sonde Atomique.